ප්ලාස්මා පිරිසිදු කරන්නන්ගේ විශේෂිත යෙදුම්
Jul 02, 2025
ප්ලාස්මා පිරිසිදු කිරීමේ/කැටීමේ යන්ත්ර මගින් විද්යුත් ක්ෂේත්රයක් නිර්මාණය කිරීම සඳහා මුද්රා තැබූ භාජනයක ඉලෙක්ට්රෝඩ දෙකක් තැබීමෙන් ප්ලාස්මා ජනනය කරයි. යම් රික්තක මට්ටමක් පවත්වා ගැනීම සඳහා රික්තක පොම්පයක් භාවිතා කරයි. වායුව වඩ වඩාත් දුර්ලභ වන විට, අණු අතර දුර සහ අණු හෝ අයනවල නිදහස් චලනය ද වැඩි වේ. විද්යුත් ක්ෂේත්රයේ බලපෑම යටතේ මෙම අයන ගැටී ප්ලාස්මා සාදයි. මෙම අයන ඉතා ප්රතික්රියාශීලී වන අතර, සියලුම රසායනික බන්ධන බිඳ දැමීමට ප්රමාණවත් ශක්තියක් ඇති, ඕනෑම නිරාවරණය වූ මතුපිටක් මත රසායනික ප්රතික්රියා ඇති කරයි. විවිධ වායු ප්ලාස්මා විවිධ රසායනික ගුණ ඇත. නිදසුනක් ලෙස, ඔක්සිජන් ප්ලාස්මාව අධික ලෙස ඔක්සිකාරක වන අතර, වායුව නිපදවීම සඳහා ෆොටෝරෙස්ට් ඔක්සිකරණය කිරීමේ හැකියාව ඇති අතර, එමගින් පිරිසිදු කිරීමේ බලපෑමක් ලබා ගනී. විඛාදන වායු ප්ලාස්මා හි විශිෂ්ට ඇනිසොට්රොපියක් ඇති අතර එය කැටයම් කිරීමේ අවශ්යතා සපුරාලයි. ප්ලාස්මා ප්රතිකාරය මගින් දිලිසීමක් ඇති කරයි, එබැවින් දිලිසෙන විසර්ජනය ලෙස හැඳින්වේ.
ප්ලාස්මා පිරිසිදු කිරීමේ යාන්ත්රණය මූලික වශයෙන් රඳා පවතින්නේ මතුපිට පැල්ලම් ඉවත් කිරීම සඳහා ප්ලාස්මාවේ ක්රියාකාරී අංශු "සක්රීය කිරීම" මත ය. ප්රතික්රියා යාන්ත්රණය අනුව, ප්ලාස්මා පිරිසිදු කිරීම සාමාන්යයෙන් පහත ක්රියාවලියට සම්බන්ධ වේ: අකාබනික වායූන් ප්ලාස්මා තත්වයට උද්දීපනය වේ; වායුමය ද්රව්ය ඝන පෘෂ්ඨයට අවශෝෂණය වේ; adsorbed කණ්ඩායම් නිෂ්පාදන අණු සෑදීම සඳහා ඝන පෘෂ්ඨයේ ඇති අණු සමඟ ප්රතික්රියා කරයි; නිෂ්පාදන අණු වායු අවධියට දිරාපත් වේ; සහ ප්රතික්රියා අවශේෂ මතුපිටින් ඉවත් කරනු ලැබේ.
ප්ලාස්මා පිරිසිදු කිරීමේ තාක්ෂණයේ වඩාත්ම කැපී පෙනෙන ලක්ෂණය වන්නේ එය ලෝහ, අර්ධ සන්නායක, ඔක්සයිඩ සහ පොලිප්රොපිලීන්, පොලියෙස්ටර්, පොලිමයිඩ්, පොලිවිවයිල් ක්ලෝරයිඩ්, ඉපොක්සි සහ පොලිටෙට්රාෆ්ලෝරෝඑතිලීන් වැනි බහු අවයවික ද්රව්ය ඇතුළු ඕනෑම උපස්ථර වර්ගයකට ප්රතිකාර කළ හැකි වීමයි. එය සම්පූර්ණ මතුපිට සහ විශේෂිත ප්රදේශ මෙන්ම සංකීර්ණ ව්යුහයන් දෙකම පිරිසිදු කළ හැකිය.
