LED RF ප්ලාස්මා උපකරණ

LCD RF ප්ලාස්මා උපකරණ ද්‍රව ස්ඵටික සංදර්ශක සංරචක සහ අදාළ ඉලෙක්ට්‍රොනික ද්‍රව්‍ය මතුපිට ප්‍රතිකාර කිරීම සඳහා විශේෂයෙන් නිර්මාණය කර ඇත. සමස්ත යන්ත්‍ර මානයන් 900W × 1750H × 1200D (mm) වේ. එහි රික්තක කුටිය, කල් පවතින මල නොබැඳෙන වානේ වලින් සාදා ඇති අතර, 450 × 300 × 450 මි.මී. මනින අතර තනි කණ්ඩායමක් තුළ ගොඩගැසී ඇති තැටි හයක් දක්වා නවාතැන් ගත හැක. මෙම වින්‍යාසය මඟින් නියමු-පරිමාණ අත්හදා බැලීම් සහ ඉහළ-පරිමා කාර්මික නිෂ්පාදනය යන දෙකටම සහාය වීමට පද්ධතියට ඉඩ සලසයි.

 

ක්‍රියාකාරී ඉදිරිදර්ශනය සඳහා, උපකරණ ජාත්‍යන්තරව පිළිගත් සන්නාමවලින් ලබාගත් උසස්-ගුණාත්මක විද්‍යුත් සංරචක ඒකාබද්ධ කරයි, දිගුකාලීන-මෙහෙයුම් ස්ථාවරත්වය සහතික කරයි. පද්ධතිය ක්‍රියාත්මක කිරීමේදී නම්‍යශීලී වීමට ඉඩ සලසමින් අතින් සහ සම්පූර්ණ ස්වයංක්‍රීය ක්‍රම දෙකම සපයයි. -මට්ටමේ අධිකාරී කළමනාකරණ ව්‍යුහයක්-ආවරණ ක්‍රියාකරු, ඉංජිනේරු සහ උසස් පරිශීලක ප්‍රවේශය-ආරක්ෂිත නිෂ්පාදනය සහතික කරන අතර අනවසර ගැලපීම් වළක්වයි. නිෂ්පාදන සොයා ගැනීමේ හැකියාව සඳහා, යන්ත්‍රය ඒකාබද්ධ වාර්තාකරණ පද්ධතියකින් සමන්විත වන අතර, ක්‍රියාවලි දත්ත ස්වයංක්‍රීයව පටිගත කිරීම සහ මාසික පදනමින් උපස්ථ කිරීම. පරිශීලකයින්ට විවිධ නිෂ්පාදන සහ යෙදුම් සඳහා පහසු අනුවර්තනය වීමේ හැකියාව ලබා දෙමින්, ක්‍රියාවලි වට්ටෝරු අසීමිත සංඛ්‍යාවක් ගබඩා කර සිහිපත් කළ හැකිය.

මූලික පද්ධති වින්‍යාසය කාර්යක්ෂම පිටාර පාලනය සඳහා රිසිකරණය කරන ලද GDQ වැකුම් කපාට සමඟ මල නොබැඳෙන වානේ නල මාර්ග සහ සීනු භාවිතා කරයි. රික්ත මැනීම සිදු කරනු ලබන්නේ Pirani ප්‍රතිරෝධක රික්ත මාපකයක් මගිනි, එය නිවැරදි සහ ස්ථාවර කියවීම් සහතික කරයි. කුටීර හුදකලා කිරීම සඳහා ඉහළ-රික්ත ගේට්ටු කපාටයක් ඇතුළත් වේ. පාලන පද්ධතිය නිරවද්‍ය සහ විශ්වාසනීය ක්‍රියාවලි පරාමිති කළමනාකරණය ලබා දෙමින් පුළුල් කිරීමේ මොඩියුල සහිත Mitsubishi PLC මත රඳා පවතී.

තාක්ෂණික පිරිවිතරයන්ට අනුව, උපකරණ නයිට්‍රජන් (N₂), ආගන් (Ar), හයිඩ්‍රජන් (H₂) සහ ඔක්සිජන් (O₂) සඳහා ආධාරක වායු නාලිකා තුනක් ඉදිරිපත් කරයි. රික්ත මට්ටම 10-50 Pa අතර පාලනය වේ, පීඩන උච්චාවචනය 5% ක් තුළ පවත්වා ගෙන යයි. ගෑස් ප්රවාහ අනුපාත 0-200 sccm පරාසය තුළ සකස් කළ හැක. සිසිලන නයිට්‍රජන්, සම්පීඩිත වාතය සහ ක්‍රියාවලි වායු අතුරුමුහුණත් 0.45 MPa හෝ ඊට පහළින් ආරක්ෂිතව ක්‍රියාත්මක වේ. ප්ලාස්මා ප්‍රතිකාර ක්‍රමය සෘජු ප්ලාස්මා වේ, ප්‍රත්‍යාවර්ත ඇනෝඩ සහ කැතෝඩ ඉලෙක්ට්‍රෝඩ. ඉලෙක්ට්රෝඩ කණ්ඩායම් දෙකක් සහ හතරක් අතර එකවර ස්ථාපනය කළ හැකිය. සෑම ඉලෙක්ට්රෝඩයක්ම 380 × 310 මි.මී. ඵලදායී පෘෂ්ඨයක් ඇති අතර ඉලෙක්ට්රෝඩ අතර පරතරය වෙනස් කළ හැකි අතර සම්මත පරාසය 2.5 සෙ.මී.

කාර්මික යෙදීම් වලදී, මෙම උපකරණ කැප්සියුලේෂන් (වාත්තු) ක්‍රියාවලීන්ට පෙර මතුපිට පිරිසිදු කිරීම සඳහා විශේෂයෙන් වටිනා වේ. ප්ලාස්මා ප්‍රතිකාරය කාබනික අපවිත්‍ර ද්‍රව්‍ය ඉවත් කර උපස්ථර මතුපිට සක්‍රීය කරයි, සම්බන්ධතා ප්‍රදේශය සහ ඇලවුම් ශක්තිය ඵලදායි ලෙස වැඩි කරයි. මෙය අච්චු ගැසීමේදී දිරාපත්වීම හෝ වෙන්වීම වළක්වන අතර ඉහළ නිෂ්පාදන විශ්වසනීයත්වයට දායක වේ. එහි ශක්තිමත් සැලසුම, උසස් පාලන කාර්යයන් සහ නිරවද්‍ය ක්‍රියාවලි කාර්ය සාධනය සමඟින්, පද්ධතිය ස්ථාවර, පුනරාවර්තනය කළ හැකි ප්ලාස්මා ප්‍රතිකාර ප්‍රතිඵල ලබා දෙන අතර, එය LCD පැනල් නිෂ්පාදනයට මෙන්ම අර්ධ සන්නායක ඇසුරුම් යෙදුම් සඳහා කදිම විසඳුමක් බවට පත් කරයි.

උණුසුම් ටැගයන්: led rf ප්ලාස්මා උපකරණ, චීනය නායකත්වය දුන් rf ප්ලාස්මා උපකරණ නිෂ්පාදකයින්, කර්මාන්ත ශාලාව